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一、高真空插板閥的工作原理

高真空插板閥分為：?jiǎn)蚊芊庹婵臻y、雙密封真空閥，適用于超高真空系統(tǒng)中切斷或接通氣流之用。適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣以及腐蝕性氣體。采用觸摸屏+實(shí)體按鈕操作，實(shí)現(xiàn)閥門(mén)的開(kāi)、關(guān)、停止、急停等控制功能。同時(shí)為便于現(xiàn)場(chǎng)人員發(fā)現(xiàn)和排除故障，每套閥門(mén)的控制系統(tǒng)現(xiàn)場(chǎng)都有醒目的運(yùn)行及故障報(bào)警指示。可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程/本地控制切換、互鎖功能。

單密封真空閥：電機(jī)通電后通過(guò)過(guò)扭保護(hù)聯(lián)軸器帶動(dòng)滾珠絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，絲母連接固定在框架組件上，滾珠絲杠帶動(dòng)絲母及框架組件做直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。將安裝在閥板上的密封件壓緊在閥體下板的密封面上，實(shí)現(xiàn)真空密封；

雙密封真空閥門(mén)：電機(jī)通電后通過(guò)過(guò)扭保護(hù)聯(lián)軸器帶動(dòng)滾珠絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，絲母固定在框架組件上，滾珠絲杠帶動(dòng)絲母及框架組件做直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，框架組件通過(guò)上下各八組四連桿機(jī)構(gòu)與兩個(gè)閥板連接，當(dāng)閥板通過(guò)框架組件的運(yùn)動(dòng)到達(dá)密封位置時(shí)，將兩個(gè)閥板上的密封件同時(shí)壓緊在閥體上、下板的密封面上實(shí)現(xiàn)真空雙密封；